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多晶硅生成工艺中的副产物氯硅烷残液,具有腐蚀性强、产量大等特点。采用多晶硅副产物氯硅烷残液为原料进行水解反应生成二氧化硅。研究了以不同水解方式在不同水解体系中引入位阻剂及该位阻剂的时效性对二氧化硅团聚的影响以及机理研究。结果表明：气-液反应的水解方式产出的二氧化硅呈现颗粒状具有颗粒特性;水解体系中引入位阻剂后产物二氧化硅分散性好,颗粒均匀、粒径大小在2μm左右;并且证实了位阻剂的位阻作用具有时效性。