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介绍了晶圆微芯片检查提取设备的工艺流程和技术要求,设计了各部分结构,特别对芯片提取翻转放置机构进行了详细说明.介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线在该设备中的应用,该系统通过E-SX总线将人机界面、控制器和执行器件连接,配线简单、维护方便、高速可靠.
晶圆微芯片检查提取设备的设计与实现
【摘 要】
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介绍了晶圆微芯片检查提取设备的工艺流程和技术要求,设计了各部分结构,特别对芯片提取翻转放置机构进行了详细说明.介绍了富士PLC、触摸屏、伺服电机和E-SX总线在该设备中的
【机 构】
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上海微松工业自动化有限公司上海201114
【出 处】
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机械制造
【发表日期】
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2012年9期
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