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超细SiC粉末的激光法制备及其性能研究
超细SiC粉末的激光法制备及其性能研究
来源 :磨料磨具与磨削 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eight92
【摘 要】
:
本文叙述了(CH_3)_3SiCl在激光场中分解后生成的S_1C超微粒的性质以及粉末性质随反应器压力、气体总流速、载气流速和激光平均能量等变化而改变的情况,对具有理想性能的SiC超
【作 者】
:
张战
张临阳
【机 构】
:
机电部郑州磨料磨具磨削研究所,中国科学技术大学应用化学系
【出 处】
:
磨料磨具与磨削
【发表日期】
:
1991年4期
【关键词】
:
碳化硅
超细粉末
激光法
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本文叙述了(CH_3)_3SiCl在激光场中分解后生成的S_1C超微粒的性质以及粉末性质随反应器压力、气体总流速、载气流速和激光平均能量等变化而改变的情况,对具有理想性能的SiC超微粒(直径≤0.03μm)的制备工艺条件选择有参考价值。
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