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期刊论文
XPS深度剖析的表征
XPS深度剖析的表征
来源 :新疆大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunya88
【摘 要】
:
本文基于XPS深度剖析的实验结果,提出了两种不依赖于XPS谱议灵敏度因子的XPS深度剖析实验结果的表征方法,并将此二法与其它三种XPS深度剖析表征法进行了比较。
【作 者】
:
刘昶时
刘慧英
【机 构】
:
中国科学院新疆物理研究所,新疆兵团医院
【出 处】
:
新疆大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1993年1期
【关键词】
:
衰征
深度剖析
剖面
XPS
characterization
depth-dissection
profile
XPS
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本文基于XPS深度剖析的实验结果,提出了两种不依赖于XPS谱议灵敏度因子的XPS深度剖析实验结果的表征方法,并将此二法与其它三种XPS深度剖析表征法进行了比较。
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