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本文提出一种测定氢化非晶硅(a-Si:H)结晶膜平均晶粒尺寸的新方法。首先测量结晶膜的电流—电压特性的实验曲线,然后与按照理论模型由计算机模拟作图所得一组曲线进行比较,我们能够得到结晶膜的平均晶粒尺寸。该方法也适用于多晶硅的结晶膜。
测定a—Si：H结晶膜平均晶粒尺寸的一种新方法
【摘 要】
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本文提出一种测定氢化非晶硅(a-Si:H)结晶膜平均晶粒尺寸的新方法。首先测量结晶膜的电流—电压特性的实验曲线,然后与按照理论模型由计算机模拟作图所得一组曲线进行比较,我
【机 构】
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南京大学物理系,南京大学物理系
【出 处】
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南京大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1992年3期
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