【摘 要】
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多种微机电设备的运行中都需要精细测量。微机电装置被广泛地应用于医疗设备、计算机芯片冷却、以及人造卫星的推进等领域。微观物理现象有别于宏观物理现象，并对物质的表象起
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多种微机电设备的运行中都需要精细测量。微机电装置被广泛地应用于医疗设备、计算机芯片冷却、以及人造卫星的推进等领域。微观物理现象有别于宏观物理现象，并对物质的表象起着决定性的作用。受传感器尺寸和设备外形的影响，大部分用于微机电系统测量的传感器分辨率有限，分子传感器是微机电系统的全局分布测量的一种选择，可用来获得温度、热传导、压力以及剪切应力分布。PSP(压力敏感漆)传感器的应用范围从1×10^-5-2atm,TSP(温度敏感漆)传感器的温度范围从-196℃～200℃，并具有很好的空间分辨率。
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