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本文对ＭＥＭＳ技术的发展概况进行了介绍，对涉及的科学技术问题进行讨论并扼要论述其重要意义。
微电子机械系统(MEMS)发展展望
【摘 要】
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本文对ＭＥＭＳ技术的发展概况进行了介绍，对涉及的科学技术问题进行讨论并扼要论述其重要意义。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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电子科技导报
【发表日期】
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1997年1期
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