【摘 要】
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氮化铝（Al N）是一种宽禁带深紫外半导体材料,其良好的性能可作为紫外固态光源。采用射频磁控溅射法,在p型Si（100）衬底上制备了Al N薄膜。通过X射线衍射分析（XRD）、紫外-可见光光谱（U
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氮化铝（Al N）是一种宽禁带深紫外半导体材料,其良好的性能可作为紫外固态光源。采用射频磁控溅射法,在p型Si（100）衬底上制备了Al N薄膜。通过X射线衍射分析（XRD）、紫外-可见光光谱（UV-Vis）、场发射测试对制备的Al N薄膜进行了测试分析,针对薄膜生长特性对光吸收的影响及其场发射性能进行了研究。结果显示：在Si衬底上成功的制备了高度（002）取向的Al N薄膜,薄膜在230-250nm间有强紫外吸收,阈值电场为6.39V/μm。场发射测试结果表明,磁控溅射法制备的Al N薄膜具备良好的场发
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