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提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的附着力是CVD金刚石薄膜刀具得以推广应用的关键因素.本文介绍了国内外采用CVD法制备金刚石薄膜刀具时提高膜-基附着力的典型工艺方法,评述了WC-Co基底预处理及沉积工艺对CVD金刚石薄膜与基底之间附着力的影响.
提高CVD金刚石薄膜刀具膜—基附着力的工艺方法评述
【摘 要】
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提高金刚石薄膜与硬质合金基底之间的附着力是CVD金刚石薄膜刀具得以推广应用的关键因素.本文介绍了国内外采用CVD法制备金刚石薄膜刀具时提高膜-基附着力的典型工艺方法,评
【机 构】
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武汉化工学院430073
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2001年9期
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