论文部分内容阅读
本文报道了用电子回旋共振化学气相淀积（ＥＣＲＣＶＤ）技术实现了低温（５０℃）淀积ＳｉＯＮ／ＳｉＮ膜作硅太阳电池减反射膜的实验研究。探讨了影响薄膜性能的主要工艺参数，设计了具有较佳抗反效果的双层减反膜，并对膜层的反射率和太阳电池参数进行了测定。结果表明：该减反膜具有良好的减反效果，能实现较宽波段范围内的均匀增透，使太阳电池短路电流密度提高了４２％，电池转换效率提高了４５％。