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<正> SiH_4是生产半导体材料的重要原料。近年来对该分子的电子能级、解离和电离的研究逐渐深入,成为一个非常活跃的研究课题。SiH_4在可见与近紫外区是透明的,只有用真空紫外光才能研究它的吸收光谱。Y.Harada等首次得到了它的很粗的吸收谱,指出从170nm开始出
SiH4的共振多光子电离光谱
【摘 要】
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<正> SiH_4是生产半导体材料的重要原料。近年来对该分子的电子能级、解离和电离的研究逐渐深入,成为一个非常活跃的研究课题。SiH_4在可见与近紫外区是透明的,只有用真空紫
【机 构】
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中国科学技术大学近代化学系,东京大学反应化学系
【出 处】
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化学物理学报
【发表日期】
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1989年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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