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某半导体生产车间温湿度控制系统设计
某半导体生产车间温湿度控制系统设计
来源 :建筑热能通风空调 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xlj368
【摘 要】
:
本文系统地介绍了某企业半导体生产车间净化空调的数字式温湿度控制系统,该系统可靠性高,且结构简单,可以实现对净化厂房内温湿度的自动调节,为类似工程的设计提供了参考。
【作 者】
:
李杨
【机 构】
:
株洲南车时代电气股份有限公司
【出 处】
:
建筑热能通风空调
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
净化车间
温湿度控制器
自动控制
purification plants
humidity and temperature controller
autom
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本文系统地介绍了某企业半导体生产车间净化空调的数字式温湿度控制系统,该系统可靠性高,且结构简单,可以实现对净化厂房内温湿度的自动调节,为类似工程的设计提供了参考。
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