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微电子技术的发展对材料提出了更高的要求。本文评述了硅材料与其它半导体、绝缘物和导体的单片兼容技术及应用。
微电子技术中的材料兼容
【摘 要】
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微电子技术的发展对材料提出了更高的要求。本文评述了硅材料与其它半导体、绝缘物和导体的单片兼容技术及应用。
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
微电子学
【发表日期】
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1991年4期
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