国外石英谐振传感器发展现状

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一、概述石英谐振传感器具有灵敏度高、精度高、环境适应性强、功耗低、寿命长和数字读出等优点。数字传感器具有抗干扰能力强、适宜远距离传输不需要模数转换装置等特点,所以,石英谐振传感器在国际上发展很快,已广泛用于测量压力、差压、荷重、膜厚、温度、液位、加速度、湿度和露点等。石英谐振传感器的核心部件是石英谐振器,而石英谐振器又是由石英晶体制成的。石英晶体又称水晶,是一种非金属材料,它无色、透明、质地坚硬,是各向异性的晶体,不同的切割方向,其各种特性(如压 First, an overview Quartz resonant sensor with high sensitivity, high accuracy, environmental adaptability, low power consumption, long life and digital readout and so on. Therefore, the quartz resonance sensor has developed rapidly in the world and has been widely used in the fields of measuring pressure, differential pressure, load, film thickness, temperature, temperature, etc. The digital sensor has the characteristics of strong anti-interference capability and suitable for long- Level, acceleration, humidity and dew point. Quartz resonant sensor is the core component of the quartz resonator, quartz resonator is again made of quartz. Quartz crystal, also known as crystal, is a non-metallic material, it is colorless, transparent, hard texture, is anisotropic crystal, different cutting direction, its various characteristics (such as pressure
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