常温纳米压印软模具变形机理研究

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通过对软模具变形的理论分析、数值模拟和实验验证的系统研究,以期揭示模具变形的机理、规律和关键影响因素,为探索减小模具变形策略和方法,提高纳米压印复型精度奠定理论基础,以实现高保真度纳米或亚纳米图型的转移. Through the theoretical analysis of the deformation of soft molds, numerical simulation and experimental verification system research, in order to reveal the mechanism, rules and key influencing factors of mold deformation, in order to explore the strategies and methods to reduce mold deformation and improve the precision of nanoimprint complexing theory Fundamentals to achieve high-fidelity nanometer or sub-nanometer pattern transfer.
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