上海微系统所迈开SOI技术产业化大步

来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hcpysw3

【摘要】

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SOI是＂Silicon-on-insulator＂的简称,中文译为＂绝缘体上的硅＂。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,无论在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感

【出处】

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中国集成电路

【发表日期】

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2010年9期

【关键词】

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SOI技术技术产业化微系统低功耗电路上海微机械传感器硅基材料光电集成

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SOI是＂Silicon-on-insulator＂的简称,中文译为＂绝缘体上的硅＂。国际上公认,SOI是21世纪的微电子新技术之一和新一代的硅基材料,无论在低压、低功耗电路、耐高温电路、微机械传感器、光电集成等方面，都具有重要应用。上世纪90年代末，IBM大规模开展SOI技术的民用化，SOI被广泛用于超速计算机服务器中，

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