【摘 要】
：
超大数值孔径极紫外光刻物镜(NA>0.45)能够满足11 nm光刻技术节点的需求,而高分辨率成像对物镜系统的公差要求非常严格。针对一套数值孔径为0.50的极紫外投影物镜进行了补偿
【机 构】
：
北京理工大学光电学院光电成像技术与系统教育部重点实验室,
论文部分内容阅读
超大数值孔径极紫外光刻物镜(NA>0.45)能够满足11 nm光刻技术节点的需求,而高分辨率成像对物镜系统的公差要求非常严格。针对一套数值孔径为0.50的极紫外投影物镜进行了补偿器选择和制造公差分析。通过对系统敏感元件结构参量构成的灵敏度矩阵进行奇异值分解(SVD)来选择像质补偿器。物镜系统的结构参量数目较多,而奇异值分解法要求灵敏度矩阵中结构参量数不多于像差数。为了满足奇异值分解法的要求,首先确定系统的敏感元件并选择敏感元件对应的结构参量构造灵敏度矩阵。再通过对该灵敏度矩阵进行奇异值分解确定有效的补偿器组合,从而弥补公差造成的像质恶化。采用上述方法确定了8个补偿器,并利用CODE V软件进行了公差分配。结果表明,系统波像差均方根值在97.7%的置信概率下小于0.5 nm,且最严公差控制在微米及微弧度量级。
其他文献
162/3Hz电力机车动车的驱动电路中重量最大的部件是变压器。由于重量大,这种供电装置的效率不会超过92％。建立在中频变压器和IGBT电力半导体交流器基础上的供电装置能做到重量
随着中国经济的快速发展,人民从求温饱逐渐过渡到小康乃至富裕水平,并产生了许多更高的需求,其中就包括运动健身。现代都市生活中,人们对健康的关注推动了跑步的流行,路跑、
2016年12月,我参加了泉州市质量监测命题与析题评选活动。本次活动以国家质量监测命题标准为依据,命题范围定为“数与代数”和“图形与几何”领域,命题形式为解答题。经过一
引入超网络的思想和方法,构建了知识转移的超网络模型。该模型由社会网络与知识网络复合而成,网络中包括个体和知识两种节点以及节点之间的连边,分别表示组织知识管理中人和
本实用新型是一种废水处理回用装置，尤其是一种处理成本低廉的制浆造纸废水深度处理回用装置。装置组成主要包括：储水池、磁捕捉器、磁化器、一级混凝沉淀池、二级混凝沉淀池、
有研究发现,维持性血液透析(maintained hemodialysis,MHD)患者应激水平过高是造成患者心理健康水平低下的一个重要原因.对于患者来说,慢性肾功能衰竭及透析治疗是一件重大的负性生活事件,作为压力源,可引发个体强烈而持久的应激反应.患者不仅面临与疾病和治疗相关的压力源,同时还必须面对如:自我概念、自信、家庭角色改变以及尊严丧失等社会心理压力源。
文学有时代性.中国和希腊,由于文学起源的历史形态类同,表现出了共同的主题--在幻想和想象中探索自然界和人类本身的历史.文学又有民族性,古希腊人经商、作海盗、开辟殖民地,
目的观察全身麻醉后气管导管拔除时气管导管连接负压直接拔管的可行性、安全性及效果。方法选择无呼吸系统疾病史、无困难气道和通气困难、ASAⅠ-Ⅱ级（无或有轻度系统性疾病，但
在学生合唱训练组队时,队员虽经重重筛选,但仍然会在合唱训练中出现“五音不全”的现象。通常教师会针对一首歌曲解决中间出现的个别音准或者节奏问题,在没有系统的训练时,方
医疗质量是医院赖以生存的根本，是评价医院整体水平最重要的标准，是医院管理工作的核心。影响医疗质量的因素是多环节、多方面、多层次的。面对日益增多的医患纠纷和不断增加职