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从半导体集成电路技术发展而来的MEMS (微机械电子系统)技术日渐成熟。目前MEMS技术在传感器领域的应用增长较快,特别是在加速度计、压力传感器、红外传感器等应用中, MEMS发挥了巨大的作用,可用于压力和加速度测量等多种应用,这些也极大地推动了传感器技术和MEMS技术的发展。
传感器领域中无处不在的MEMS技术
【摘 要】
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从半导体集成电路技术发展而来的MEMS (微机械电子系统)技术日渐成熟。目前MEMS技术在传感器领域的应用增长较快,特别是在加速度计、压力传感器、红外传感器等应用中, MEMS发挥了巨大的作用,可用于压力和加速度测量等多种应用,这些也极大地推动了传感器技术和MEMS技术的发展。
【机 构】
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ECN高级编辑
【出 处】
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电子产品世界
【发表日期】
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2004年24期
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