Z衬度扫描透射电子显微术的前沿进展

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【摘要】

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文章介绍了Z衬度扫描透射电子显微术 (Z-scanning transmission electron microscopy,Z-STEM,Z为原子序数)的最新进展:Z-STEM可以直接"观察"到晶体中原子的真实位置,Z衬度图

【作者】

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束开俊高利林晓高鸿钧

【机构】

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安徽中医学院物理系,中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室

【出处】

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物理

【发表日期】

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2003年9期

【关键词】

：

扫描透射电子显微术 z衬度成像原子分辨成分分析相干成像微细结构测量 Z|STEM atomic structure composition

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文章介绍了Z衬度扫描透射电子显微术 (Z-scanning transmission electron microscopy,Z-STEM,Z为原子序数)的最新进展:Z-STEM可以直接"观察"到晶体中原子的真实位置,Z衬度图像的分辨率在经过球差校正后可达0.6;在利用Z衬度成像技术对材料的阴极荧光(cathodoluminescence,CL)性质的研究中,首次观察到了"死层"(dead layer)的存在.然后,文章以半导体与结晶氧化物界面结构、Al72Ni2

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