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采用过滤式阴极电弧沉积的方法获得类金刚石薄膜.喇曼光谱的分析表明,这种薄膜是典型的无氢类金刚石薄膜.喇曼光谱的高斯分解研究表明:随着偏压的增加,D线和G线的位置μd、μg向低频移动,半高宽Fg减小、Fd增加,在偏压为100V时,D线和G线强度比Id/Ig 有最大值.
类金刚石薄膜的喇曼光谱高斯分解研究
【摘 要】
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采用过滤式阴极电弧沉积的方法获得类金刚石薄膜.喇曼光谱的分析表明,这种薄膜是典型的无氢类金刚石薄膜.喇曼光谱的高斯分解研究表明:随着偏压的增加,D线和G线的位置μd、μ
【机 构】
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东南大学,生物医学工程系,江苏,南京,210096南京航空航天大学,机电工程学院,江苏,南京,210016;
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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2000年1期
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