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聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析及修补的精度和速度,目前已经成为微电子技术领域必不可少的关键技术之一.对聚焦离子束曝光技术作了介绍.
聚焦离子束曝光技术
【摘 要】
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聚焦离子束技术是一种集形貌观测、定位制样、成份分析、薄膜淀积和无掩模刻蚀各过程于一身的新型微纳加工技术.它大大提高了微电子工业上材料、工艺、器件分析及修补的精度
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年12期
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