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太赫兹时域光谱技术能够快速、宽频带测量物质在太赫兹频段的光学或介电常数，是物质识别的重要技术．光学常数的测量准确度完全受到复杂的测量过程和数据处理所影响．针对正入射反射式THz光谱测量，分析了在测量材料介电特性过程中的误差来源，它们包括太赫兹幅值误差、位置误差以及样品倾斜误差．建立了单独表征每个误差来源对于光学常数影响的不确定度分量的公式．利用MATLAB仿真了每个误差来源对于光学参数不确定度的影响．