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采用无氟的高分子辅助金属有机物沉积(PA-MOD)法在(001)LaAlO3单晶基底上制备了超导转变温度Tc=90K的YBCO超导薄膜.研究了高温热处理过程中不同成相温度和气氛湿度对制备高性能YBCO薄膜的影响.通过X射线衍射(XRD)θ-2θ扫描、ω扫描和ψ扫描分析了不同热处理工艺制备的YBCO薄膜的双轴织构程度;通过扫描电镜(SEM)测试研究了不同薄膜样品的表面形貌;采用超导量子干涉仪测量了薄膜的超导转变温度曲线和磁化曲线.结果表明,770℃干燥气氛中成相的样品具有优异的双轴织构及平整、致密的表面形貌.采用该优化工艺制备的YBCO薄膜在77 K零场下的临界电流密度(Jc)达到2 MA/cm2,是其它工艺制备薄膜Jc的1.7～6.7倍.