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本文介绍了提高硅光探测器量子效率的半球形点阵技术。介绍了运用这一技术制作的P-I-N和RAPD硅光探测器。
提高硅光探测器量子效率技术与应用
【摘 要】
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本文介绍了提高硅光探测器量子效率的半球形点阵技术。介绍了运用这一技术制作的P-I-N和RAPD硅光探测器。
【出 处】
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激光技术
【发表日期】
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1993年5期
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