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介绍了调整扫描投影式光刻机畸变的几种方法。畸变是扫描投影式光刻机经常出现的问题，由此而带来的各机台间不能套刻，给生产造成相当的麻烦。简单分析问题的成因及调整方法。
纠正套刻畸变
【摘 要】
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介绍了调整扫描投影式光刻机畸变的几种方法。畸变是扫描投影式光刻机经常出现的问题，由此而带来的各机台间不能套刻，给生产造成相当的麻烦。简单分析问题的成因及调整方法。
【机 构】
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上海讯科微机电有限公司,镇江高等专科学校
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年1期
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