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研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法，获得了20×20的折射型微透镜列阵，单元微透镜相对口径为F/2，单元透镜直径为90 μm，中心间隔100 μm，透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法，并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。
折射型微透镜列阵的光刻热熔法研究
【摘 要】
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研究了制作折射型微透镜列阵的一种新方法光刻胶热熔成形法，获得了20×20的折射型微透镜列阵，单元微透镜相对口径为F/2，单元透镜直径为90 μm，中心间隔100 μm，透镜的波像差小于1.3波长。本文详细阐述了光刻热熔法的基本原理及微透镜设计方法，并讨论了工艺参数对微透镜列阵质量的影响。
【机 构】
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浙江大学高技术现代光学中心,杭州310027浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,杭州310027
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1996年16期
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