【摘 要】
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为了克服金属箔式应变片应变灵敏系数低及滞后、蠕变大的缺点,最近二十多年来,传感器技术界的研究重点是寻找一种价格便宜、能替代传统金属箔式应变片的新型传感元件.各种金
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为了克服金属箔式应变片应变灵敏系数低及滞后、蠕变大的缺点,最近二十多年来,传感器技术界的研究重点是寻找一种价格便宜、能替代传统金属箔式应变片的新型传感元件.各种金属或合金及半导体、氧化物的薄膜应变片,由于其由真空蒸发、溅射、化学气相淀积或等离子气相淀积等工艺制成,因而具有几乎没蠕变、滞后等理想特性,特别是能获得电阻温度系数低而稳定的产品,并便于大批量生产,有利于制成高性能、价廉的传感器产品.薄膜技术作为现代传感器的四大关键工艺之一,已经引起传感器技术界的重视.本文简要介绍薄膜应变片的一般特性及其在压力传感器方面的应用,供有关人员参考.
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