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已建造了一个UHV兼容沉只系统,用地通过2.45GHz微波等离子体化学气相沉积生长金刚石薄膜。这个系统包括一个负载锁定装置和一个球形沉积室。在该室中加热的100mm直径的基处处一暴露于反应等离子体环境,设计设置了一些孔,以便利用椭圆率测量术,发光光谱测定法,质谱测定法和激光反射测定法进行原位监测。也可以供后面附加的如XPS的分析室之用。