【摘 要】
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基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构,结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数,并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化;在此基础上采用导纳匹配法,
【机 构】
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天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室; 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室; 成都七中高新校区;
【基金项目】
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国家自然科学基金(61405145，61235011);天津市自然科学基金(17JCQNJC01900)
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基于SiO2/Al/SiO2三层夹层结构,结合使用多角度椭圆偏振谱和透射光谱精确反演获得了薄金属Al层光学常数,并研究分析了Al光学常数随膜层厚度的变化;在此基础上采用导纳匹配法,理论优化获得了三腔金属诱导透射紫外滤光膜,并系统分析了Al和SiO2介质匹配层制备误差对紫外滤光膜光谱性能的影响;进一步采用低温、高真空Al、SiO2薄膜生长工艺,成功获得了峰值波长位于218 nm附近,峰值透过率23.1%,带宽32 nm,在280 nm、318 nm波段的透过率分别约为0.5%和0.04%,400700 nm、8001 100 nm波段的截止度分别可达5.0 OD、4.5 OD的高性能三腔诱导透射紫外滤光片样品。相关研究结果对于高性能多腔诱导透射"日盲"紫外滤光片的设计与制备具有很好的指导意义。
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