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溅射薄膜材料应用很广泛 ,其中薄膜的附着性是影响薄膜材料质量的重要因素 ,膜 /基界面结合强度是制约薄膜材料实际应用的关键之一。本文综述了关于溅射薄膜附着性能的研究进展 ,总结了影响附着性的主要工艺因素 ,为改善薄膜质量提供参考依据。
工艺条件对溅射薄膜附着性的影响
【摘 要】
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溅射薄膜材料应用很广泛 ,其中薄膜的附着性是影响薄膜材料质量的重要因素 ,膜 /基界面结合强度是制约薄膜材料实际应用的关键之一。本文综述了关于溅射薄膜附着性能的研究进
【机 构】
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四川大学
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2003年01期
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