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光致荧光显微成像是观测电介质材料超微结构缺陷的有效手段。本工作研究利用KrF激光器照射光学器件表面激发的荧光成像探测光学元件薄膜激光损伤。建立了KrF激光的光致荧光成像系统，并用以进行了紫外光学镀膜损伤的现场测试。测试结果与采用Normaski显微镜的测试结果一致。
紫外激光荧光显微成像技术在光学薄膜损伤测试中的应用
【摘 要】
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光致荧光显微成像是观测电介质材料超微结构缺陷的有效手段。本工作研究利用KrF激光器照射光学器件表面激发的荧光成像探测光学元件薄膜激光损伤。建立了KrF激光的光致荧光成
【机 构】
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中国原子能科学研究院核技术应用研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2008年2期
【基金项目】
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上海光学精密机械研究所薄膜技术中心为实验提供了大量测试样片.在实验样片的损伤测试工作中,该所镀膜中心的有关同志和LPX-150激光器的负责人张海峰给予了大力支持,在此一并表示感谢.
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