【摘 要】
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旋转超声波加工是一种精密、有效的硬脆材料加工方法，为了获得最佳加工质量，旋转超声波钻削加工中，恒定、灵敏地控制工件与工具之间的静载荷至关重要。设计了一种新型的气浮工作
【机 构】
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天津大学微纳制造中心,天津大学先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室,天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室
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旋转超声波加工是一种精密、有效的硬脆材料加工方法，为了获得最佳加工质量，旋转超声波钻削加工中，恒定、灵敏地控制工件与工具之间的静载荷至关重要。设计了一种新型的气浮工作台，用于恒定、灵敏地控制旋转超声波加工中的力。并且对比恒速和恒力两种进给方式下，旋转超声波钻削加工高纯氧化铝的加工孔出入口形貌、刀具形貌以及刀具磨损率。研究表明，采用气浮工作台的恒力进给方式可以延长刀具寿命，减小刀具磨损状况下的工件损伤。
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