一种新型波长选择性波导探测器的设计与分析

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论文提出一种新型的波长选择性波导探测器。该探测器是利用BCB聚合物,将波导探测器(WGPD)和法布里波罗腔(FPC)滤波器水平集成而成。垂直入射的波导探测器都具有量子效率和带宽之间的互相制约关系。该波长选择性波导探测器采用边入射,克服了上述制约关系。集成的光探测器的峰值波长位于1538nm处,具有0.3nm光谱线宽,外量子效率达到25%,响应度可达0.1A/w。该探测器同时具有12.5GHz的带宽,具有良好的高速特性。同时也讨论了器件的外延生长和制造工艺。
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