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本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统，本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制，并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检测。本系统工作行程５０ｍｍ，定位精度±０．１μｍ。
0.1μm大行程精密定位控制系统的研究
【摘 要】
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本文介绍了一种新型的精密工作台定位控制系统，本控制系统采用伺服电机粗动控制与压电陶瓷精动控制相结合的方法完成对工作台的定位控制，并利用衍射干涉光栅测长技术进行实时检
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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国家高技术 863计划资助项目
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