论文部分内容阅读
采用化学溶液分解法（CSD）在p型Si〈100〉衬底上制备了（Bi0.8Ce0.2）2Ti2O7薄膜,采用X射线衍射技术研究了薄膜的结构和结晶性。研究表明：Ce3＋部分取代Bi3＋能够显著提高Bi2Ti2O7薄膜的相稳定性。同时还研究了薄膜的电容-电压特性、介电常数、介电损耗。结果表明,该薄膜具有良好的介电特性。