论文部分内容阅读
MEMS、纳米技术和半导体晶圆键合和光刻设备的领先供应商——EV集团（EVG）宣布欧洲的三所大学（南安普顿大学、阿尔斯特大学和不伦瑞克工业大学）已下了EVG多系统订单。这些订单用于前沿MEMS研究，总额超过290万美元。值得注意的是，在英国大学中，南安普顿大学为南安普顿纳米制造中心购买光刻／MEMS设备的订单最大。在英国教育机构的MEMS领域中，