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介绍了超精密加工中主轴电机的振动及其对超精密加工的影响;在原有伺服电机的基础上设计并制作了气浮电机;用加速度传感器提取电机的振动信号,并用 AD3525FFT频谱分析仪对电机的振动加速度信号进行了分析,测试出在电机转速为 500r/min时普通伺服主轴电机和气浮主轴电机的振动和速度分别为 0.436× 10- 4g和 0.108× 10- 4g,用改造的气浮主轴伺服电机构成的超精密加工系统,加工 KDP晶体的表面粗糙度达到了 8nm.本项研究对提高超精密加工主轴系统精度具有一定的实用价