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在功率超声珩磨加工装置的设计中，由于其声振子系统的自振频率很难用常规的计算方法准确判断，这给装置的设计实验和投入生产带来了很大的不便。本文通过计算机仿真技术对中北大学自行设计的中150mm立式珩磨装置的声振子系统进行自振频率分析和相应振型的数值模拟，取得了很好的成果。文中建立了相应的声振子系统的数学模型，完成了声振子系统自振频率分析和相应振型的数值模拟，并对其进行了动力响应分析，解决了超声珩磨加工装置设计中响应的难题。