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在钨卤素灯的安排和晶片收到的发光的一致性之间的关系被讨论，并且一种 axial-symmetricallamps-array 被设计保证边上的照耀是近似一样的著名计算机生产厂商他晶片的中心上的。晶片对力量 oftungsten 卤素灯上的温度的大小数字地被计算。
Design of Rapid Thermal Processing for Large Diameter Wafer
【摘 要】
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在钨卤素灯的安排和晶片收到的发光的一致性之间的关系被讨论，并且一种 axial-symmetricallamps-array 被设计保证边上的照耀是近似一样的著名计算机生产厂商他晶片的中心上的
【机 构】
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DepartmentofAppliedPhysics
【出 处】
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半导体光子学与技术：英文版
【发表日期】
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2006年4期
【基金项目】
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Foundation for Key Youth Teachers from Hunan Province（521105237）, Natural Science Foundation of Hunan University（521101805）.
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