【摘 要】
：
嵌段共聚物引导自组装是制备sub-10 nm尺寸半导体器件的潜在技术方案之一。然而由于缺少高效准确的实验室分析工具,难以对嵌段共聚物自组装/引导自组装的结构进行深入定量分析,特别是对其组装结构的缺陷密度及线边粗糙度等进行定量研究。本文参考图形分析中的图像增强算法和模板匹配算法,采用二值化和骨架化算法对嵌段共聚物自组装/引导自组装图像进行处理,构建相应的卷积核并利用卷积运算分析和定位组装结构中的缺陷
【机 构】
：
中国科学院长春应用化学研究所,中国科学技术大学
【基金项目】
：
国家自然科学基金(Nos.51973212,51773201),吉林省科技发展计划中青年科技创新领军人才及团队项目(No.20200301017RQ),长春市科技计划科技创新“双十工程”重大科技攻关项目(No.19SS005),吉林省与中国科学院科技合作高技术产业化专项资金项目(No.2019SYHZ0002)资助。
论文部分内容阅读
嵌段共聚物引导自组装是制备sub-10 nm尺寸半导体器件的潜在技术方案之一。然而由于缺少高效准确的实验室分析工具,难以对嵌段共聚物自组装/引导自组装的结构进行深入定量分析,特别是对其组装结构的缺陷密度及线边粗糙度等进行定量研究。本文参考图形分析中的图像增强算法和模板匹配算法,采用二值化和骨架化算法对嵌段共聚物自组装/引导自组装图像进行处理,构建相应的卷积核并利用卷积运算分析和定位组装结构中的缺陷,并对缺陷密度进行统计。经验证,该算法能够减少噪点对统计结果的影响,区分图像边缘截断所产生的断点和组装缺
其他文献
【摘 要】《商品管理》课程是在《商品学》课程的基础上，结合专业目标就业岗位的知识能力素质要求，校企合作共同开发的一门连锁经营管理专业的专业核心能力培养课程。重点培养学生对店铺的商品管理能力。 【关键词】互联网；商品管理；课程建设；改革 自《商品管理》课程开设以来，课程组教师努力探索与创新，通过持续不断的改革与实践，形成了一套较为系统、先进的课程设计理念。通过实施校企合作，将课堂教学与岗位实践有
高校图书馆进行阅读推广是倡导社会全民阅读,打造阅读社会的措施之一。随着社会信息化的不断发展,传统的纸质阅读已经不能够满足社会居民的阅读需求,高校图书馆的用户阅读行为也在发生着改变。文章通过对新形势下的高校图书馆用户阅读行为改变的特点进行分析,针对用户阅读行为的改变推出高校图书馆阅读推广活动,从而不断创新高校图书馆阅读推广的理论和方法。
【摘 要】创设情境教学法是提高学生积极性与学习效果的新兴教学模式之一，在愈发广泛的应用过程中取得了显著的效果，本文首先就创设情境教学法在小学语文教学中的效果加以阐述，继而分析并讨论情境教学法在小学语文教学活动中的具体应用，以期進一步推广这种教学方式，更好地提高教学水平与质量。 【关键词】创设情境教学法；小学语文；多媒体教学 小学阶段的语文教学是培养小学生识文断字与基础写作的重要环节，也是打好学
量子点显示器件具有高光谱纯度、宽色域、高亮度等优势,被认为是显示行业未来的一个重要发展方向。发展量子点高精度光刻图案化技术对实现其在显示领域的应用具有重要的意义。本文阐述了量子点光刻技术的最新进展,主要包括光刻胶辅助剥离光刻和直接光刻技术。在直接光刻技术方面,着重介绍混入光刻胶光刻和配体工程光刻,并对图案化的量子点发光层在光致发光和电致发光中的应用进展进行评述。同时,介绍量子点光刻中存在的问题并展望其在超高分辨率显示领域的应用前景。
半导体行业中的大规模集成电路均采用光刻技术进行加工,光刻的线宽极限和精度直接决定了集成电路的集成度、可靠性和成本。光刻技术是指利用光刻胶在紫外光或电子束下发生溶解性变化,将设计在掩膜版上的图形转移到曝光衬底上的微加工技术。随着半导体加工的光源不断进步,从g线、i线到KrF(248 nm)再到ArF(193 nm),与之匹配的光刻胶也在不断变化,以满足灵敏度、透光性以及抗刻蚀等需求。如今,极紫外(EUV)光刻已经成为公认的下一代光刻技术,然而与之对应的光刻胶还面临着不少挑战。本文简要回顾了光刻光源的发展以及
【摘 要】初中阶段是学生英语学习的关键时期，学生需要加强自己的知识积累，提高英语自主学习能力和水平。结合现阶段我国初中英语课程教学的现状及问题，文章主要对初中英语教学中学生自主学习能力培养的必要性和方法进行研究与分析。 【关键词】初中生；英语学习；自主性；培养策略 作为第二语言学习，学生英语学习过程中面临的诸多难题需要采取有效方法解决。这就要求初中英语课程教学需要从学生实际学习需求和学习特点出
极紫外光刻技术作为下一代光刻技术,被行业赋予了拯救摩尔定律的使命。极紫外光刻胶是极紫外光刻技术的核心子技术之一,其分辨率、粗糙度、灵敏度以及放气情况等指标的检测是开展极紫外光刻胶研发的必要条件和实现极紫外光刻胶配方优化的重要环节。基于同步辐射的极紫外干涉光刻技术是目前最适合开展的一种用于极紫外光刻胶性能检测的方法。上海光源根据相关的研发需求,已建立了一个基于该方法的极紫外光刻胶检测平台。通过不断改善装置的稳定性,发展自主的分束光栅掩膜制作技术,以及不断摸索和优化相应的干涉曝光工艺,目前检测平台的曝光分辨率
【摘 要】随着教学体制改革的不断途径，阅读教学已成为初中英语教学中的重点和难点环节。如何运用高效的教学手段，以进一步提高英语阅读课程的教学质量日益引起了英语教师的广泛关注，而思维导图恰恰满足了这一需求。因此，本文基于思维导图的概念，重点分析了其在初中英语阅读教学中的应用，以供参考借鉴。 【关键词】思维导图；初中英语；阅读教学 对于初中英语而言，阅读教学具有不可替代的重要作用，其不仅可让学生更为
电子束光刻是下一代光刻技术中的有力竞争者,在微纳加工尤其是光刻掩膜制造上具有显著的竞争优势。开发高性能的光刻胶并优化出最佳的显影条件和工艺是提升电子束光刻效率的基础。本文在前期开发出的二氧化碳基聚碳酸酯电子束光刻胶的基础上,进一步探究了正性聚碳酸环己撑酯(PCHC)胶的显影条件对电子束光刻性能的影响,具体研究了显影剂以及显影温度和时间等工艺条件,筛选出了最优显影剂正己烷,最佳显影温度0℃,最佳显影时间30 s。在该条件下,PCHC的灵敏度和对比度分别为208μC/cm2和3.06,并实现了53 nm的分辨