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通信领域中的MEMS器件及发展动态
通信领域中的MEMS器件及发展动态
来源 :电讯技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuwumalan
【摘 要】
:
微电子机械系统(MEMS)技术在通信领域中有着广泛的应用前景,本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS器件如MEMS电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS器件的原理、结构和
【作 者】
:
谌贵辉
张万里
彭斌
蒋洪川
【机 构】
:
西昌学院,电子科技大学
【出 处】
:
电讯技术
【发表日期】
:
2004年2期
【关键词】
:
MEMS
微电子机械系统
无线通信
光通信
滤波器
光检测器
电感
电容
Wireless communication
Optical fiber commu
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微电子机械系统(MEMS)技术在通信领域中有着广泛的应用前景,本文介绍了在无线通信和光通信中的MEMS器件如MEMS电感、电容、开关、滤波器、光检测器等MEMS器件的原理、结构和发展概况,指出了MEMS器件发展所面临的问题和方向.
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