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本文介绍一种高精度电容测微器,测量位移的精度能达到0.0001微米,甚至更高。量程精度比可达到1000:1以上。
一种高精度电容测微器
【摘 要】
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本文介绍一种高精度电容测微器,测量位移的精度能达到0.0001微米,甚至更高。量程精度比可达到1000:1以上。
【出 处】
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地壳形变与地震
【发表日期】
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1986年03期
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