静电悬浮加速度计气体阻尼及其对控制系统特性影响分析

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在分子流状态下,将余弦定律应用于静电悬浮加速度计荷载气体阻尼力分析中,推导出了静电悬浮加速度计中气体阻尼系数的计算公式.通过该公式,可以方便地进行静电悬浮加速度计控制系统动态和静态特性的设计分析,同时对分子流状态下的真空度变化对控制系统特性影响进行了计算机仿真分析,获得了部分有益的结论.
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