【摘 要】
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在厚膜混合集成电路的制造中,烧结是十分重要的工序,而烧结炉是实现和完成这一工艺制造任务的关键设备。本文结合美国 BTU 公司烧结炉的特点,主要介绍了在厚膜电路生产应用中
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在厚膜混合集成电路的制造中,烧结是十分重要的工序,而烧结炉是实现和完成这一工艺制造任务的关键设备。本文结合美国 BTU 公司烧结炉的特点,主要介绍了在厚膜电路生产应用中烧结工艺经常遇到的问题、解决方法以及烧结炉设备的维护。
In the manufacture of thick film hybrid integrated circuits, sintering is a very important process, and the sintering furnace is the key equipment to achieve and complete this process manufacturing task. In this paper, the characteristics of the sintering furnace of American BTU company are introduced. The problems encountered in the sintering process in the production and application of thick film circuits, the solutions and the maintenance of sintering furnace equipment are mainly introduced.
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