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微细电火花加工中，因电极损耗引起的电极尺寸和形状的变化严重影响被加工工件的尺寸精度和形状精度。在实验基础上分析了电极损耗的变化过程，并借助有限元方法和电磁理论研究了产生电极损耗的机理。研究表明：电场集中是棱边损耗的根本原因，一定阶段后电极形状趋于稳定；击穿放电产生的超高频电流使电极横截面上的电流在边缘的集中是发生二次放电的主要根源。