【摘 要】
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微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结
【机 构】
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清华大学,清华大学,清华大学,清华大学
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微细图形几何尺寸的测量是VLSI 生产中的一个重要工序。DXY-1型线宽轮廓测量仪采用显微镜—电视摄象—图象采集—微机处理方案。本文介绍了它的原理及设计中有关问题。实验结果表明:测量精密度≤±0.005μm,仪器精度σ≤±0.02μm,台阶测量精度<2.5nm。
Measurement of fine pattern geometries is an important process in VLSI production. DXY-1 linewidth profile measuring instrument using a microscope - TV camera - image acquisition - computer processing program. This article describes its principles and design issues. The experimental results show that the precision of measurement is ≤ ± 0.005μm, the accuracy of the instrument is σ≤ ± 0.02μm, and the accuracy of step measurement is <2.5nm.
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