论文部分内容阅读
本文在常压空气环境下，以单脉冲YAG激光作为激发源，通过辅助电极激发，获得了铁电薄膜样品上不同位置处的等离子体发射光谱。利用最小二乘法对铁电薄膜样品中Co、Sr和La的光谱数据进行处理，得到了元素谱线辐射强度比和原子个数比之间的线性因子Kij，并利用线性因子Ku计算了铁电薄膜上不同位置处的元素比率。结果表明，激光微区等离子体光谱法可以用于测定亚微米薄膜材料中的元素比率。