侧向腐蚀在1.3μm垂直腔面发射激光器中的应用

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:d2587754
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研究了广泛应用于垂直腔面发射激光器(VCSEL)等Ⅲ-Ⅴ族光电子器件制作的侧向腐蚀技术。分别采用C6H807:H2O2溶液、HCl:H3PO4溶液对InAlAs材料、InP材料进行了侧向腐蚀试验,获得了较稳定的速率,并对其腐蚀机制和晶向选择性进行了分析。采用侧向腐蚀技术制备了电流限制孔径分别为11μm和5pm的1.3μm垂直腔面发射激光器,器件在室温下均连续激射。
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