【摘 要】
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本文通过深入研究化学机械抛光过程的材料去除激励,探究抛光过程中各要素:抛光压力、抛光速度、抛光液成分对抛光过程中的材料去除的作用。
In this paper, through the fur
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所,
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本文通过深入研究化学机械抛光过程的材料去除激励,探究抛光过程中各要素:抛光压力、抛光速度、抛光液成分对抛光过程中的材料去除的作用。
In this paper, through the further study of material removal excitations in the chemical mechanical polishing process, the effects of polishing pressure, polishing speed and polishing liquid composition on the material removal in the polishing process are explored.
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