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期刊论文
MEMS封装技术的现状与发展趋势
MEMS封装技术的现状与发展趋势
来源 :重庆电力高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pioneerp
【摘 要】
:
介绍MEMS(Micro Electromechanical System)封装技术的难点和现状,重点介绍倒装芯片技术(FCT)、上下球栅阵列封装技术(TB—BGA)和多芯片封装技术(MCMs)三种很有前景的封装技术的特点,并
【作 者】
:
胡雪梅
韩全立
【机 构】
:
西安电子科技大学机电工程学院,河南工业职业技术学院
【出 处】
:
重庆电力高等专科学校学报
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
MEMS封装
倒装芯片技术
上下球栅阵列封装技术
多芯片封装技术
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介绍MEMS(Micro Electromechanical System)封装技术的难点和现状,重点介绍倒装芯片技术(FCT)、上下球栅阵列封装技术(TB—BGA)和多芯片封装技术(MCMs)三种很有前景的封装技术的特点,并且对MEMS封装的发展趋势进行分析。
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